产品简介
微波91短视频在线播放体清洗机是一种利用微波能量产生91短视频在线播放体来对物体表面进行清洗的先进设备，可去除有机物、光刻胶、无机物、氧化层等多种污染物，可对硅晶圆、金PAD、铝PAD等表面进行清洗，该清洗机具有操作方便、效率高、表面干净、无划伤、有利于确保产品质量等优点。清洗过程中不产生空气污染,也没有废液、废渣产生,是真正的节约能源,降低成本。
产品参数
| 型号 | NE-MW100 |
| 91短视频在线播放发生器 | 固态功率源1000W连续可调 |
| 频率 | 2.45GHz |
| 腔体材质 | AL6061，军工级密封 |
| 载物台尺寸 | Φ270mm |
| 腔体容积 | 480(W)*505(D)*410(H)mm; 100L |
| 晶圆托盘工作台 | 可水平旋转，连续旋转、90°间歇旋转和180°间歇旋转 |
| 处理能力 | 单次最大处理6片（8/10英寸硅晶圆） |
| 泄露率 | ≤5e-10 Pa·m3/s |
| 气体流量控制器 | MFC气体质量流量计/500SCCM/气路 |
| 气路数量 | 配置2路工艺气路，可支持氧气，氩气，氮气，氢气、氩氢混合气体等 |
| 流量控制精度 | 优于±2% |
| 气压波动 | ≤±5% |
| 真空测定系统 | 配备电控气动真空阀和皮拉尼真空计，测量范围：5×10 -2 ～1.0×10 5 Pa ，测量精度：1Pa |
| 真空泵 | 干式真空泵：80m³/h |
| 最大工作噪音 | ＜65dB（1m范围内） |
| 工作真空度 | 20-40PA |
| 抽真空时间（20PA） | ≤90s以内 |
| 极限真空 | ≤5Pa |
| 控制方式 | PLC+工控机 |
| 显示屏 | 12英寸 |
| 91短视频在线播放处理效果 | 清洗后水滴角<15°，同批次晶圆，任意晶圆的任意位置水滴角差≤±5°，批次间水滴角差≤±5°（8inch硅晶圆） |
| 电源供应 | AC380V,50/60Hz，三相五线100A |
| 外形尺寸 | 1200(W)×1200(D) ×1800(H) mm |
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