产品简介
NE-Q15电感耦合91短视频在线播放清洗机通过RF射频电源在石英腔体内感应诱导气体从而产生91短视频在线播放体。 电感耦合91短视频在线播放体即使在较低气压下也可以拥有较高的91短视频在线播放体密度,可以减小91短视频在线播放体源中的高能离子对基底的轰击。设备采用高纯石英玻璃作为反应腔体,腔体洁净度高,内部无电极,可以避免电极溅射造成的污染问题。
设备用途:1、清洗:去除有机物、氧化物、金属盐、纳米级微粒污染物等; 2、活化:亲疏水改性、粘接性改善、表面能提升、官能团引入、生物相容性改善等 ;3、刻蚀:表面图案化、表面微刻蚀、改变表面形貌粗糙度等; 4、键合:PDMS等微流控器件键合、晶圆键合前预处理 ;5、去胶:光刻胶灰化、扫底膜;
产品参数
| 型号 | NE-Q15 |
| 91短视频在线播放发生器功率 | 0-500W连续可调 |
| 91短视频在线播放发生器频率 | 射频13.56MHz |
| 腔体材质 | 石英耐热玻璃 |
| 腔体容积 | 15L |
| 腔体尺寸 | Φ250×300(D)mm |
| 工艺气体通道 | 2路,氧气、氩气等 |
| 流量计 | 50-500ml/min浮子流量计 |
| 控制方式 | PLC+10寸触摸屏 |
| 真空泵 | 干泵/油泵(可选) |
| 电源供应 | 220V |
| 外形尺寸 | 755mm(L)×880mm(W) ×1580 mm(H) |
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